Geminiは3D-IC技術開発のパラメーター試験、信頼性試験、ウエハー生産および生産品質のモニタリング機能や3D-ICの貫通電極のKGD試験ができるハイレベルな統合ソリューションです。高精度パラメトリック試験や信頼性試験だけでなくデジタル・アナログファンクション試験も行うことができる多チャンネルテストシステムです。
●R（mΩ?>1012）微細クラック、汚染、TSVなど3D ICのアライメントズレ欠け
●ダイオード（Ion, Ioff, Vt, Ron, Cj）
●Tr（MOSFET/Ioff, Idlin, Idsat, Vth, Gm, Sst BJC/Ic, Ib, Ie, beta）ストレス特性プロセス特性
●その他：リングオシレータ、1Ghz特性、プロセス評価及びストレス特性
●インターコネクト、エレクトロマイグレーション（EM）、ストレスマイグレーション(SM)
●絶縁体、Inter Metal(Layer) Dielectric TDDB (IMD-TDDB)
●Tr MOSFET/FinFET BTI/ホットキャリア(HCI)サーモメカニカル疲労試験
●DFT DC Scan AC Scan
●BIST Boundary Scan
●ATPG, DWR(P1838)-TSV
●サーモメカニカル疲労試験
テストソリューション本部
TEL：045-474-8824