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3D-IC用半導体試験装置 Gemini

Geminiは3D-IC技術開発のパラメーター試験、信頼性試験、ウエハー生産および生産品質のモニタリング機能や3D-ICの貫通電極のKGD試験ができるハイレベルな統合ソリューションです。高精度パラメトリック試験や信頼性試験だけでなくデジタル・アナログファンクション試験も行うことができる多チャンネルテストシステムです。

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