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Scorpio
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Scorpioは半導体デバイスに対するHCI, BTI, TDDB, EMなどの幅広いテスト要求に対応します。
また、ウェハーレベル・パッケージレベルのどちらにも対応しており、ウェハーレベルでは最大96DUT、パッケージーレベルでは288DUTの同時測定が行えます。
電圧/電流ストレス源としてパーピンVSU/EMUを用意しているため、各DUTの各chへ印加するストレスを個別に設定することができます。
MOSの信頼性装置は標準では±25V、最大で±200V、EMは最大で±2Aのストレス・測定システムを用意しておりますが、ご要望に合わせたシステムも提供可能です。

<製品特徴>
低価格
高同時測定数
パーピンストレス

<製品仕様>
テスト項目 : HCI, BTI, GOI/TDDB, EM
同時測定数 : 288DUT
VSU:1152ch
高精度電流測定機能

      <EM測定用DUTボード>                 <可動式マルチサイトプローバ>                                               





 

 

 

 

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